半導體工業(yè)真空泵油的處理與再造利用
半導體工業(yè)在硅片加工過程中，必須使用真空泵。真空泵油通常有兩種： 碳氫化合物油(Hydrocarbon)與全氟聚醚油(PFPE)。碳氫化合物油極易燃燒，化學結(jié)構(gòu)不穩(wěn)定，容易降解，使得潤滑性能容易降低，從而導致真空泵出現(xiàn)故障。尤其因頻繁地更換真空泵油，包括停機維修時間的增加，而影響生產(chǎn)效率。而且，碳氫化合物油的可燃性也導致隱患，頻繁更換真空泵油，存在大量的廢棄物，對于環(huán)保方面是不利的?？傊?，許多方面均會導致運行成本的上升。
全氟聚醚油( PFPE ) 分子鏈飽和，不含氫元素，化學性能穩(wěn)定，抗強氧化劑，與氧相容，不可燃，耐強酸、強堿等化學物質(zhì)，高溫性能穩(wěn)定，并具有極低的蒸發(fā)速率和良好的潤滑性能。不僅， 且使用。半導體工業(yè)在芯片加工過程中必須使用一些的氣體與某些具有毒性的強氧化劑，因而要求在工藝加工過程中使用的真空泵具有的適應性，PFPE 因其性能而得到使用。尤其在消除火災或爆炸的危險隱患等方面更是性能。的真空泵制造商， 如萊寶(LeyBold), 愛德華(Edwards)均使用PFPE 油作為其真空泵的介質(zhì)，以其真空設備在環(huán)境中繼續(xù)保持優(yōu)良的性能。
因此，PFPE 是半導體工業(yè)真空泵油的佳選擇，能夠滿足半導體工業(yè)中性、性以及環(huán)保等要求。
PFPE 油— KRYTOX b
杜邦公司KRYTOXb 系列產(chǎn)品初的是起源于航天計劃，比如阿波羅登月計劃的導航系統(tǒng)用的潤滑劑，并首獲成功。隨后應全半導體工業(yè)的需求，杜邦公司KRYTOXbVPF 系列產(chǎn)品得到主要真空泵制造商如L e y B o l d ,Edwards，Ebara 等的，均符合或過主要泵制造商有關擔保的要求。
杜邦KRYTOX b 具體性能如下：
◆ 化學穩(wěn)定性：KRYTOXbVPF 化學性能穩(wěn)定，耐強酸,包括極強的路易氏酸，耐強堿。性能穩(wěn)定， 與接觸的任何特種氣體如氟氣，SiH4 等，強腐蝕性物質(zhì)，強氧化劑，還原劑等均不發(fā)生反應；
◆ 不燃燒性：KRYTOX b 分子結(jié)構(gòu)中不含氫元素，耐氧化，不會燃燒， 無閃點，無燃點，可避免任何火災的隱患，達到半導體行業(yè)性的要求；
◆ 熱穩(wěn)定性：極低的蒸發(fā)率和降解率，能夠避免任何殘留物的形成而影響半導體工業(yè)中反應室的純凈度及高真空度的維持；
◆ 的潤滑性能：尤其在比較寬的操作溫度范圍，在高負載，高壓強的情況下，KRYTOXb均具有良好的潤滑性能，能夠減少磨耗，尤其對于真空泵及壓縮機等設備維持優(yōu)良的運行性能等等重要；
◆ 粘度和蒸氣指標穩(wěn)定: 能夠保持極低的回流率，從而能夠持續(xù)地系統(tǒng)的高真空度。
綜上所述，杜邦全氟聚醚產(chǎn)品-KRYTOXb VPF真空泵油能夠滿足半導體工業(yè)的要求，尤其是針對半導體芯片加工過程中如刻蝕劑和沉淀過程中所面臨的氣體，強腐蝕性化學物質(zhì)，均能其操作的與。
杜邦PFPE 的再造利用方案
全對環(huán)境保護的要求越來越高。如何處理在真空泵的維修和使用過程中所產(chǎn)生的廢油是擺在公司面前的一大難題。傳統(tǒng)的處理方式是將回收的廢油送至當?shù)貜U油處理廠焚燒。但PFPE是無法燃燒的。也就是說，簡單處理使用過的PFPE油會造成的環(huán)境污染。
杜邦公司全氟聚醚廢油再造利用的環(huán)節(jié)和生產(chǎn)程序，都是建立在杜邦公司作為原始PFPE真空泵油制造商的技能和經(jīng)驗基礎之上。再造工作均在新澤西州的Deepwater制造工廠完成?；谡婵站W(wǎng)(www.chvacuum.com)多年的經(jīng)驗，杜邦公司PFPE真空泵油的再造生產(chǎn)過程，包括中和，過濾，脫氣，精餾，氟化再造以及精制等步驟，其中氟化再造是關鍵性的步驟，并輔以完善的分析測試手段包括氣相色譜，紅外色譜，原子吸收光譜等方法來實時跟蹤，分析并監(jiān)控有關酸度，粘度，蒸氣壓等關鍵性的指標，以再造生產(chǎn)的PFPE再造油性能指標與新生產(chǎn)的PFPE油，并且在實際操作過程中性能等同，工藝工程的化及閉式循環(huán)等的特點, 使得再造收率達95～98%。
杜邦公司是一家能夠做到上述高效、高質(zhì)，再造利用PFPE油的制造商。除此以外，上述再造工程中，過濾，精制等程序所產(chǎn)生的廢棄物均嚴格按照相應的法規(guī)來處理，并嚴格按照相關的程序，以利于環(huán)境保護。再造利用方案，對于客戶有如下：
(1)為客戶收集廢油無償提供包裝桶;
(2)節(jié)省了處置廢油的費用和時間;
(3)由于油的重新使用，節(jié)省了操作運行成本費用;
(4)由于廢油的和合法處置，實現(xiàn)了環(huán)保目的;
(5)利用的油達到原產(chǎn)品的標準;
(6)杜邦公司將在整個操作過程中提供支持。
鑒于此，的真空泵制造商和半導體芯片制造廠均采納此方案。收集用過的PFPE油，得到當?shù)囟虐罟竞推浣?jīng)銷商的支持和服務。利用，實現(xiàn)環(huán)保，并降低成本。
半導體工業(yè)發(fā)展迅速，環(huán)保要求不斷提高。半導體業(yè)廢油處理的環(huán)保問題已引起芯片制造廠及相關者的高度重視。目前，杜邦公司及其授權(quán)的經(jīng)銷商已在成功地建立了此項目的完善服務體系。一方面，把收集的PFPE 廢油 送至杜邦公司新澤西工廠進行再造利用，使相關企業(yè)同樣得此再造利用方案的六大好處;另一方面，為的環(huán)保事業(yè)作出貢獻。
