產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
NXL110I 干式多級(jí)羅茨真空泵 是一種高性能的真空泵，廣泛應(yīng)用于對(duì)潔凈度和可靠性要求較高的工業(yè)與科研領(lǐng)域。
主要應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體與電子行業(yè)
用于芯片制造、刻蝕、離子注入等工藝，避免油污染，滿足高潔凈度要求。
光伏與太陽(yáng)能電池生產(chǎn)
在薄膜沉積、PVD/CVD 等工藝中提供無(wú)油真空環(huán)境。
分析儀器
配合質(zhì)譜儀、電子顯微鏡等設(shè)備，確保無(wú)烴污染。
化工與制藥
處理腐蝕性或有毒氣體時(shí)，干式設(shè)計(jì)避免油液污染產(chǎn)品。
科研與實(shí)驗(yàn)室
適用于高真空實(shí)驗(yàn)、材料科學(xué)等需要清潔抽氣的場(chǎng)景。
詳情介紹：
產(chǎn)品特點(diǎn)
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干式無(wú)油設(shè)計(jì)
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無(wú)需潤(rùn)滑油，避免油蒸氣污染，適合潔凈敏感工藝。
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多級(jí)羅茨結(jié)構(gòu)
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通過(guò)多級(jí)串聯(lián)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)更高的壓縮比和真空度（可達(dá) 10?3 mbar 范圍）。
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高效節(jié)能
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優(yōu)化轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)減少能量損耗，運(yùn)行成本低于傳統(tǒng)油封泵。
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耐腐蝕與長(zhǎng)壽命
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關(guān)鍵部件采用特殊涂層或耐腐蝕材料（如鎳合金），適合處理腐蝕性氣體。
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低維護(hù)需求
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無(wú)油設(shè)計(jì)省去定期換油的維護(hù)，僅需定期清潔或更換過(guò)濾器。
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緊湊與模塊化
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結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成到復(fù)雜真空系統(tǒng)中，支持多泵并聯(lián)擴(kuò)展抽速。
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低振動(dòng)與噪音
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精密動(dòng)平衡轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，運(yùn)行平穩(wěn)，適合安靜環(huán)境（如實(shí)驗(yàn)室）。
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| 技術(shù)數(shù)據(jù) | |||
| Units | nXL110i | nXL200i | |
| Pumping speed (pneurop 6602) | m3h-1 | 110 | 200 |
| Ultimate vacuum (total pressure) | mbar | <2 x 10-2 | |
| Inlet flange | NW40 | ||
| Outlet flange | NW40 / NW50 | ||
| Maximum permitted outlet pressure | bar gauge/psig | 0.5 / 7.0 | |
| Operating temperature range | oC | 10 - 40 | |
| Nominal rotational speed | rpm | 9000 | |
| Power connector 1-ph | IEC EN60320 C19 | ||
| Mains voltage | V | 200 - 240 (+/- 10%) | |
| Power at typical application condition (2 - 10 mbar) | kW | 0.7 - 0.9 | |
| Flow at typical application condition | slm | 3-15 | 6-22 |
| Leak tightness | mbar ls-1 | 1.0 x 10-5 | |
| Weight | kg | 75 | 81 |
| Noise (pressure) | dB(A) | 56.7 | |
| Vibration at inlet flange | mms-1 (rms) | <2.5 | |
