產(chǎn)品特點
1. 干式無油設(shè)計
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采用多級羅茨結(jié)構(gòu)，無需潤滑油，避免油蒸氣污染，滿足 SEMI（半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)） 和 GMP（制藥行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)） 要求。
2. 高抽速與大抽氣能力
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抽速范圍：比 NXL110i 更高，適用于更大腔體的快速抽真空（具體數(shù)值需參考技術(shù)手冊，通常在 100–200 m3/h 左右）。
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極限真空：可達(dá) 10?3 mbar（0.1 Pa），適合中高真空應(yīng)用。
3. 多級羅茨結(jié)構(gòu)優(yōu)化
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采用 多級串聯(lián)羅茨泵 設(shè)計，提高壓縮比，增強低氣壓下的抽氣效率。
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相比單級羅茨泵，在低壓力下仍能保持穩(wěn)定性能。
4. 耐腐蝕與長壽命
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關(guān)鍵部件采用 鎳合金涂層 或 特殊防腐處理，可耐受腐蝕性氣體（如 Cl?、HF 等）。
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適用于半導(dǎo)體刻蝕工藝中的 腐蝕性氣體環(huán)境。
5. 節(jié)能高效
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優(yōu)化的轉(zhuǎn)子設(shè)計降低能耗，比傳統(tǒng)油封泵節(jié)能 。
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可選 變頻驅(qū)動（iXM 控制器），根據(jù)負(fù)載自動調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，進(jìn)一步降低能耗。
6. 低維護與長運行周期
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無油設(shè)計減少維護需求，僅需定期清潔或更換進(jìn)氣過濾器。
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軸承與密封件采用長壽命設(shè)計，降低停機時間。
7. 智能控制與集成化
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支持 RS485/Modbus 通信，可接入工廠自動化系統(tǒng)（如 PLC 控制）。
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可選配 Edwards 智能監(jiān)控系統(tǒng)，實時監(jiān)測泵的狀態(tài)（溫度、振動、負(fù)載等）。
8. 低噪音與低振動
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精密動平衡轉(zhuǎn)子設(shè)計，運行平穩(wěn)，噪音低于 65 dB(A)，適合實驗室和潔凈室環(huán)境。
| Units | nXL110i | nXL200i | ||
|---|---|---|---|---|
| Peak pumping speed | m3h-1 | < 2 x 10-2 | ||
| Ultimate Vacuum (total pressure) | mbar (Torr) | 7 x 10-3 (5.3 x 10-3) | 7 x 10-4 (5.3 x 10-4) | |
| Displacement (50/60hz) | m3h-1 | 131 | 283 | |
| Inlet | NW 40 | |||
| Outlet | NW 25 | |||
| Maximum permitted outlet pressure | bar gauge/psig | 0.5 / 7.0 | ||
| Operating temperature range | Celsius | 10 - 40 | ||
| Nominal rotational speed | rpm | 9,000 | ||
| Power connector 1-phase | IEC EN60320 C19 | |||
| Power at ultimate | kW | 0.65 | ||
| Power at typical application condition (2-10 mbar) | kW | 0.7 - 0.9 | ||
| Flow at typical application condition | slm | 3 - 15 | 6 - 22 | |
| Max power during ramp up | kW | 1.1 | ||
| Leak tightness | mbar l/s | 1.0 x 10-5 | ||
| Weight | kg | 75 | 81 | |
| Noise (pressure) | dB(a) | 56.7 | ||
| Vibration at inlet flange | mms-1 (rms) | < 2.5 | ||
A77022320 / A770-22-320 NW40 200-230V 50/60 Hz
A77022420 / A770-22-420 NW50 200-230V 50/60 Hz
